NLD-5700（ドライエッチング装置）

NLD プラズマを搭載したオプトデバイス・MEMS 向けの量産対応ドライエッチング装置。

NLD-5700とは

NLD-5700 は、アルバックのオプトデバイス・MEMS 向けのドライエッチング装置です。独自の磁気中性線プラズマ（NLD）による、低圧・低電子温度・高密度のプラズマを搭載しています。

カセット室を標準装備し、アライナ機構を追加すれば量産装置として使えます。エッチングチャンバーやアッシングチャンバーも追加できます。

NLD は ICP 方式より低圧で高密度、低電子温度のプラズマを作れるため、石英、ガラス、水晶、LN、LT 基板などを加工できます。光デバイス、マイクロレンズ、フォトニック結晶、μ-TAS の流路などの作成に使われます。

主な特長

•NLD プラズマ
•量産対応のカセット室
•チャンバーの追加が可能

主な仕様

方式	磁気中性線プラズマ（NLD）
構成	カセット室標準・エッチング／アッシング室を追加可能
対象	石英・ガラス・水晶・LN・LT 基板

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	東京エレクトロン（TEL）Tactras™	Suss MicroTecMA8 Gen5（マスクアライナー）	EV GroupEVG®510（ウェーハ接合装置）	Lam ResearchDSiE™（深堀りシリコンエッチング）	KLASPTS Omega® Rapier™	KLAPrimaxx® Monarch 300	KLAXactix® X4	KLAMVD300®	アドバンテストHA7200（温度・圧力ユニット）	アドバンテストHA7300（Stimulus Test Cell）	ULVAC（アルバック）NLD-570（ドライエッチング装置）	ULVAC（アルバック）NLD-5700（ドライエッチング装置）
方式	反応性イオンエッチング（RIE）	—	—	深堀りシリコンエッチング（ボッシュ法・定常法）	DRIE（ボッシュ法・デュアルプラズマ源）	気相 HF（VHF）エッチング	XeF₂ 気相エッチング（パルス・連続）	分子気相成膜（MVD）	ダイレクト温度印加・小型チャンバ・専用圧力コントローラ	—	磁気中性線プラズマ（NLD）・低圧・低電子温度・高密度	磁気中性線プラズマ（NLD）
主要用途	高アスペクト比エッチング	MEMS・LED・マイクロ光学・光センサー	MEMS のキャップ接合・気密封止	MEMS・パワーデバイスのトレンチ・WLP の TSV	—	—	MEMS デバイスのリリース	MEMS の固着防止膜・腐食防止膜	—	—	光デバイス・マイクロレンズ・フォトニック結晶・μ-TAS	—
対応ウェハ径	300 mm	最大 200 mm	小片～ 200 mm	—	最大 300 mm	200／300 mm	—	—	—	—	—	—
対象	—	—	—	—	—	—	—	—	車載用などの圧力センサ	ディーゼル排気系の差圧センサなど	石英・ガラス・水晶・LN・LT 基板	石英・ガラス・水晶・LN・LT 基板
特徴	—	SUSS レベリングシステム・クラスターへの組み込み可	—	—	—	—	特許のデュアル膨張室	—	—	—	—	—
構成	—	—	—	—	—	—	—	MVD300・MVD300E（EFEM 付き全自動）	—	—	—	カセット室標準・エッチング／アッシング室を追加可能

1機種だけが掲載している項目（10件）

チャンバー構成	最大 6 チャンバー（水平対向設計）	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—
露光方式	—	マスクアライナー（インプリント対応）	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—
接合方式	—	—	陽極・ガラスフリット・はんだ・共晶・TLP・直接接合	—	—	—	—	—	—	—	—	—
最大荷重・温度	—	—	10／20／60 kN、最高 550°C	—	—	—	—	—	—	—	—	—
ラインアップ	—	—	—	DSiE III・DSiE F Series・DSiE G Series	—	—	—	—	—	—	—	—
実績	—	—	—	—	DRIE プロセスモジュール 1,500 以上	—	—	—	—	—	—	—
処理	—	—	—	—	—	1 バッチ最大 13 枚・最大 6 モジュール	—	—	—	—	—	—
連携	—	—	—	—	—	—	—	—	EVA100・ハンドラとのセンサテストセル	—	—	—
温度制御	—	—	—	—	—	—	—	—	—	8 個一括（低温用／高温用の温調プレート）	—	—
圧力	—	—	—	—	—	—	—	—	—	2Port 圧力コントローラ・圧力印加ノズル	—	—