ファブ運営・インフラ

超純水エンジニア

最終更新:2026-09-28

この職種は何をするのか

超純水エンジニアは、ファブで洗浄やリンスに使う超純水(UPW)をつくる設備と、使った後の排水を処理・回収する設備を担当する職種です。大規模なファブは1日に数万トンの水を使い、その水にはイオン・微粒子・有機物・溶存酸素をppt〜ppbレベルまで取り除いた純度が求められます。水の品質はウェハの欠陥に直結し、水の量は立地や環境負荷の議論にもつながるため、ファブの基盤を担う重要な職種です。

仕事内容

超純水システムの運転管理

前処理・逆浸透膜・イオン交換・紫外線酸化・限外ろ過といった多段の処理設備を運転し、膜や樹脂の交換時期を管理します。

水質の監視と分析

比抵抗・TOC・微粒子・溶存酸素・金属をオンラインと分析で監視します。水質の異常はウェハの欠陥として現れるため、ライン側と連携して原因を追います。

排水処理と回収

フッ素・酸・アルカリ・研磨スラリーを含む排水を種類ごとに処理し、再利用できる水は回収します。回収率を上げることは水資源とコストの両面で重要です。

新工場・増設の設計

新工場では必要な水量と水質から設備の規模と構成を決め、水処理メーカーと協力して立ち上げます。

担当する工程・装置

超純水製造システム半導体製造装置 / 工場インフラ廃水処理設備半導体製造装置 / 工場インフラ高純度配管・工事半導体製造装置 / 工場インフラ薬液供給システム半導体製造装置 / 工場インフラ

必要になる知識・用語

UPW(超純水)Ultrapure Waterユースポイント(POU)Point of Use金属汚染(メタルコンタミネーション)Metal Contaminationパーティクル汚染(発塵管理)Particle Contaminationオゾン水洗浄Ozone Water Cleaningファブインフラ設備Fab Infrastructure Equipment

主な企業

栗田工業JPオルガノJP野村マイクロ・サイエンスJPTSMC(台湾積体電路製造)TWキオクシア(Kioxia)JPソニーセミコンダクタソリューションズ(Sony)JP

よくある質問

超純水エンジニアはどこで働きますか?

デバイスメーカーのファシリティ部門と、栗田工業・オルガノ・野村マイクロ・サイエンスなどの水処理メーカーが主な職場です。日本の水処理メーカーは超純水で世界的な実績があります。

どんな専門分野が向いていますか?

化学工学・環境工学・水処理の出身者が多い職種です。膜分離やイオン交換の原理、微量分析の知識が直接役立ちます。

水不足は半導体工場の課題ですか?

課題です。大規模ファブの水使用量は中規模都市に匹敵するとされ、渇水時の操業や地域との共生が工場立地の検討項目になっています。排水の回収・再利用の技術者の需要は高まっています。

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