ファブ運営・インフラ

環境安全(EHS)エンジニア

最終更新:2026-09-21

この職種は何をするのか

環境安全(EHS:Environment, Health & Safety)エンジニアは、半導体工場で使われる毒性・可燃性の特殊ガスや強酸・強アルカリの薬液から、働く人と地域の環境を守る職種です。ガス漏えいの検知、排ガスの除害、排水の処理、温室効果ガスの削減、そして高圧ガス保安法などの法令対応を担います。工場の操業許可そのものを支える、止めてはいけない仕事です。

仕事内容

ガス・薬液の安全管理

シランやアルシン、フッ素系ガスなど危険性の高いガスの供給系統に、検知器と遮断の仕組みを設計・運用します。緊急時の対応手順と訓練もこの職種が組み立てます。

排ガス・排水の処理

装置から出る排ガスを除害装置で無害化し、フッ酸や重金属を含む排水を処理して、排出基準を守ります。新工程の導入時には、どんな副生成物が出るかの事前評価が欠かせません。

法令対応と行政手続き

高圧ガス保安法、消防法、水質汚濁防止法、化学物質の管理に関わる法令の届出と遵守を管理します。新工場の建設では許認可の取得が立ち上げ日程を左右します。

温室効果ガスと環境負荷の削減

エッチングやチャンバークリーニングで使うPFCガスは温室効果が非常に大きいため、除害の効率化や代替ガスへの切り替えで排出量を減らします。

担当する工程・装置

排ガス処理装置(アバトメント)半導体製造装置 / 工場インフラガス検知システム半導体製造装置 / 工場インフラ / ガス供給・検知システムガス供給装置・バルクガス設備半導体製造装置 / 工場インフラ / ガス供給・検知システム廃水処理設備半導体製造装置 / 工場インフラ薬液供給システム半導体製造装置 / 工場インフラ

必要になる知識・用語

除害装置(スクラバー)Abatement System / Scrubber特殊ガス(半導体プロセスガス)Specialty Gas / Process Gas特殊ガス・プロセスガスSpecialty Gases薬液供給システム(CDS)Chemical Delivery System (CDS)UPW(超純水)Ultrapure WaterクリーンルームCleanroom

主な企業

カンケンテクノJPEdwards Vacuum(Atlas Copco傘下)GB荏原製作所JP栗田工業JPオルガノJP理研計器JP新コスモス電機JP大陽日酸(Taiyo Nippon Sanso)JP

よくある質問

ファシリティエンジニアとの違いは?

ファシリティエンジニアはユーティリティを安定して「供給する」ことに責任を持ち、EHSエンジニアはガス・薬液・排出物が人と環境に「害を与えない」ことに責任を持ちます。除害や排水処理のように両者が重なる領域もあります。

役立つ資格はありますか?

高圧ガス製造保安責任者、公害防止管理者(大気・水質)、危険物取扱者、衛生管理者などが実務と直結します。法令で選任が義務づけられるものが多い職種です。

化学系の出身が有利ですか?

化学・環境工学の出身者が多い職種です。ガスや薬液の反応性、排水処理の化学を理解していることが、リスク評価の精度に直結します。

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