リファービッシュとは、使用済みの製造装置を分解・洗浄し、消耗部品を交換して、性能を保証できる状態に戻して再出荷することです。単に中古品を転売するのとは違い、装置メーカーや専門業者が工場に持ち込んで整備し、据付後の性能を保証する点が特徴です。再整備された装置は、新品より短い納期と低い価格で導入できます。
半導体で再整備の市場が成り立つのは、成熟ノードの装置に長い需要があるためです。パワー半導体やアナログIC、車載向けの多くは200mmウェハの成熟プロセスで作られますが、その世代の装置は新品の生産がすでに終わっているものが多く、増産には中古装置を整備して使うしかありません。装置の世代が古くても、作る製品に対して十分な性能が出ればよいという考え方です。
整備の中身は、チャンバー内部の洗浄と部品交換、磨耗した駆動系の交換、制御用パソコンとソフトウェアの更新などです。古いOSのまま残ると工場のセキュリティ要件を満たせないため、制御系を新しくするレトロフィットと組み合わせて行われることもあります。