レガシーOSとは、メーカーのサポートが終了した古い基本ソフトのことで、半導体製造装置の制御用パソコンに数多く残っています。Windows XPやWindows 7、さらに古いUNIX系OSで動き続けている装置は珍しくありません。サポートが切れたOSには修正プログラムが提供されないため、既知の弱点が塞がれないまま工場の中で動き続けることになります。
なぜ入れ替えないのかというと、装置の制御ソフトがそのOS専用に作られているためです。OSを新しくすると制御ソフトが動かなくなり、装置メーカーに作り直してもらう必要があります。費用と検証の手間が大きく、作り直した結果として加工条件が変わってしまえば、プロセスの再認定からやり直しになります。装置が15年以上現役で使われる業界では、OSの寿命のほうが先に尽きるのです。
現実的な対策は、OSを更新するのではなく周りを固めることです。装置を専用のネットワーク区画に閉じ込める、USBポートを物理的に塞ぐ、許可したソフトだけを動かす仕組みを入れる、といった方法が取られます。新規に買う装置についてはSEMI E187がサポート中のOSを求めており、新旧で守り方を分けるのが一般的です。