COMPANY DATABASE
光洋サーモシステム
ジェイテクトグループの熱処理装置メーカー。半導体向けの縦型拡散炉・横型拡散炉、ランプアニール装置などを供給し、酸化膜形成や不純物拡散、活性化アニールの工程を支える。
当サイトでの位置づけ
Semirai の熱処理装置カテゴリでは、縦型・横型の拡散炉とランプ加熱式の急速熱処理（RTP）を国内で供給する中核メーカーとして位置づけられます。酸化・拡散・アニールを担う装置群の起点です。
企業の強み
縦型・横型の拡散炉を自社で設計製造
ランプ加熱による急速熱処理（RTP）に対応
半導体以外の産業炉も含む幅広い熱処理技術
主要製品・ソリューション
拡散炉
- •縦型拡散炉
- •横型拡散炉
- •酸化炉
急速熱処理
- •ランプアニール装置
- •RTP装置
関連装置カテゴリ
📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、光洋サーモシステムを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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