DAW4110（ウォータジェットソー）

加圧した水と研磨材で非熱の曲線切断を行うウォータジェットソー。ウォータジェットソーとして初めてクリーンルームに対応した。

DAW4110とは

DAW4110 は、ディスコのオートマチックウォータジェットソーです。加圧した水と研磨材でワークを切断し、熱を加えない繊細な曲線切断を実現します。

水と研磨材をあらかじめ混ぜて吐出する独自技術と、ダイシングソーで培ったアライメント技術で、高品質・高精度な非熱の曲線切断を行います。ウォータジェットソーとして世界で初めてクリーンルームに対応しました。

金属や樹脂のバリやスミアリング、積層材料のはがれを抑え、0.3mm の狭いカーフ幅で内側のコーナーを R0.3mm で切れます。研磨材を回収して乾かさずに再利用できます。銅配線付きのガラスエポキシ基板や、チタン・ステンレスなど熱で不具合が出やすい材料の切断に使われます。

主な特長

•非熱の曲線切断
•クリーンルーム対応（世界初）
•カーフ幅 0.3mm
•研磨材の再利用

主な仕様

方式	ウォータジェット（水＋研磨材のプリミックス）
カーフ幅	0.3 mm（内側コーナー R0.3 mm）
主要用途	樹脂・金属・積層材の曲線切断

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	DISCODFD6362	DISCODFD6240	DISCODFD6340	DISCODFD6361	DISCODFD6363	DISCODFD6450	DISCODFD6560	DISCODFD6760	DISCODAD3350	DISCODAD3361	DISCODAD3660	DISCODAW4110（ウォータジェットソー）	東京精密（Accretech）AD3000T-PLUS	Advanced Dicing Technologies（ADT）8030（フルオートマチックダイシングソー）	KLASPTS Mosaic™ プラズマダイシング	BesiFico Sawing Line
方式	—	フルオートマチック・シングルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・パラレルデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル・デュアルチャックテーブル	オートマチック・シングルスピンドル	オートマチック・シングルスピンドル	オートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	ウォータジェット（水＋研磨材のプリミックス）	—	—	プラズマダイシング（DRIE・Rapier-S／Rapier-300S）	—
対応ウェハ径	300 mm	Φ200 mm	Φ200 mm	Φ300 mm	Φ300 mm（フレーム／ウェーハの Two-way 搬送はオプション）	Φ200 mm	Φ300 mm	Φ300 mm	—	—	—	—	300 mm	最大 12 インチ	—	—
スピンドル	—	1.2kW 標準（1.8kW・2.2kW オプション）	—	1.2kW 標準（1.8kW・2.2kW オプション）	独自開発 1.8kW（60,000 min⁻¹）	1.0kW エアースピンドル標準（2.2kW オプション）	—	—	1.8kW 標準（2.2kW オプション）	—	—	—	対向デュアル（1.8 kW・最大 60,000 rpm、2.2 kW 高トルク仕様をオプション）	ツインスピンドル	—	—
主要用途	300mmウェーハの量産ブレードダイシング	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	樹脂・金属・積層材の曲線切断	ウェーハ・パッケージのブレードダイシング	QFN・BGA・LED・ガラス・セラミックなどのダイシング	—	—
効果	—	—	スループット 30〜40% 向上・設置面積 17% 縮小（DFD651 比）	—	—	—	設置面積 16% 削減・スループット最大約 10% 向上（DFD6362 比）	—	—	—	DAD3350（300mm 特殊）比でスループット最大 90% 向上	—	—	—	狭い切り代・ダイ強度の向上	—
自動化	ブレード交換・プリカットを自動化（交換約60秒）	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	ブレード自動交換システム（ABES）を搭載可能	—	—	—
最大ワーク	—	—	—	—	—	—	—	—	Φ8 インチ（特殊仕様で 250mm 角）	—	360 mm 角	—	—	—	—	—

1機種だけが掲載している項目（13件）

スピンドル構成	対向デュアルスピンドル	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—
特徴	X軸復帰・主要搬送部の高速化で前機種比スループット約7%向上	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—
オプション	—	—	—	—	—	—	—	非接触ウェーハ高さ測定器（NSD）	—	—	—	—	—	—	—	—
対応ワーク	—	—	—	—	—	—	—	—	—	Φ300 mm	—	—	—	—	—	—
機能	—	—	—	—	—	—	—	—	—	新型非接触セットアップ（測定時間約 74% 短縮）・SECS/GEM（オプション）	—	—	—	—	—	—
カーフ幅	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	0.3 mm（内側コーナー R0.3 mm）	—	—	—	—
軸速度	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	X 1,000 mm/s・Y 300 mm/s・Z 80 mm/s	—	—	—
設置面積	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	斜めレイアウトで従来4台分のスペースに5台を設置	—	—	—
関連機種	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	AD3000T-HC PLUS／AD3000TW（FOWLP 等の大型パッケージ向け）	—	—	—
対応	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	最大 300mm（296mm／400mm フレーム）	—
工程	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	切断・洗浄・検査・選別を一体化
保持方式	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	テープではなく製品ごとの真空保持
検査	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	100% 検査