DFD6362

Φ300mmウェーハの生産性を高めたフルオートマチックダイシングソー。対向デュアルスピンドルのスピンドル間距離を縮め、デュアルカットの加工速度を上げている。

DFD6362とは

DFD6362 は、ディスコ（DISCO）が Φ300mm ウェーハの量産向けに展開するフルオートマチックダイシングソーです。2本のスピンドルを向かい合わせに配置した対向デュアルスピンドル構成で、1枚のウェーハを2本のブレードで同時に切断（デュアルカット）できます。

前機種からの改良点は、スピンドル間距離の短縮と、X軸の復帰動作や主要搬送部の高速化です。これによりスループットは前機種比で約7%向上したとされています。オプションの自動ブレード交換機能（ABC）を使うと、ブレード交換とプリカット（目立て）までを自動化でき、交換時間は約60秒です。ブレード裏面の2次元コードを読み取って取り違えを防ぎます。

スピンドルは 1.2kW／1.8kW と高速回転仕様（2.2kW、20,000〜80,000 min⁻¹）から選べ、ワークに合わせた構成が取れます。

主な特長

•対向デュアルスピンドルによるデュアルカットで、1枚あたりの切断時間を短縮
•スピンドル間距離の短縮と搬送の高速化で、前機種比スループット約7%向上
•自動ブレード交換（ABC、オプション）でブレード交換・プリカットを約60秒で自動化
•ブレード裏面の2次元コード読み取りで人為的な取り違えを防止
•チャックテーブルのウォーターカーテン（CTWC）などの汚染対策オプション

主な仕様

対応ウェハ径	300 mm
スピンドル構成	対向デュアルスピンドル
自動化	ブレード交換・プリカットを自動化（交換約60秒）
特徴	X軸復帰・主要搬送部の高速化で前機種比スループット約7%向上
主要用途	300mmウェーハの量産ブレードダイシング

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	DISCODFD6362	東京精密（Accretech）AD3000T-PLUS	Advanced Dicing Technologies（ADT）8030（フルオートマチックダイシングソー）
対応ウェハ径	300 mm	300 mm	最大 12 インチ
主要用途	300mmウェーハの量産ブレードダイシング	ウェーハ・パッケージのブレードダイシング	QFN・BGA・LED・ガラス・セラミックなどのダイシング
自動化	ブレード交換・プリカットを自動化（交換約60秒）	ブレード自動交換システム（ABES）を搭載可能	—
スピンドル	—	対向デュアル（1.8 kW・最大 60,000 rpm、2.2 kW 高トルク仕様をオプション）	ツインスピンドル

1機種だけが掲載している項目（5件）

スピンドル構成	対向デュアルスピンドル	—	—
特徴	X軸復帰・主要搬送部の高速化で前機種比スループット約7%向上	—	—
軸速度	—	X 1,000 mm/s・Y 300 mm/s・Z 80 mm/s	—
設置面積	—	斜めレイアウトで従来4台分のスペースに5台を設置	—
関連機種	—	AD3000T-HC PLUS／AD3000TW（FOWLP 等の大型パッケージ向け）	—