DAD3350とは
DAD3350 は、ディスコのオートマチックダイシングソーです。多様な加工ニーズに対応します。
ワークは最大 Φ8 インチで、特殊仕様では 250mm 角まで扱えます。1.8kW のスピンドルを標準で搭載し、オプションの 2.2kW 高トルクスピンドルを選ぶと、シリコンからセラミックスなどの難削材まで加工できます。特殊仕様で最大 Φ5 インチのブレードにも対応します。
高剛性の門型構造と、熱伸縮や振動を抑えやすいスピンドル前方支持構造で、安定した加工点を得ます。オートアライメント、オートフォーカス、オートカーフチェックなどの画像認識機能を搭載し、従来の 300・500 シリーズからの置き換えも考えた操作性です。
主な特長
- •最大 Φ8 インチ・250mm 角(特殊)
- •1.8kW スピンドル標準
- •画像認識による自動化
主な仕様
| 方式 | オートマチック・シングルスピンドル |
|---|---|
| 最大ワーク | Φ8 インチ(特殊仕様で 250mm 角) |
| スピンドル | 1.8kW 標準(2.2kW オプション) |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | DISCODFD6362 | DISCODFD6240 | DISCODFD6340 | DISCODFD6361 | DISCODFD6363 | DISCODFD6450 | DISCODFD6560 | DISCODFD6760 | DISCODAD3350 | DISCODAD3361 | DISCODAD3660 | DISCODAW4110(ウォータジェットソー) | 東京精密(Accretech)AD3000T-PLUS | Advanced Dicing Technologies(ADT)8030(フルオートマチック ダイシングソー) | KLASPTS Mosaic™ プラズマダイシング | BesiFico Sawing Line |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 方式 | — | フルオートマチック・シングルスピンドル | フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル | フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル | フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル | フルオートマチック・パラレルデュアルスピンドル | フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル | フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル・デュアルチャックテーブル | オートマチック・シングルスピンドル | オートマチック・シングルスピンドル | オートマチック・フェイシングデュアルスピンドル | ウォータジェット(水+研磨材のプリミックス) | — | — | プラズマダイシング(DRIE・Rapier-S/Rapier-300S) | — |
| 対応ウェハ径 | 300 mm | Φ200 mm | Φ200 mm | Φ300 mm | Φ300 mm(フレーム/ウェーハの Two-way 搬送はオプション) | Φ200 mm | Φ300 mm | Φ300 mm | — | — | — | — | 300 mm | 最大 12 インチ | — | — |
| スピンドル | — | 1.2kW 標準(1.8kW・2.2kW オプション) | — | 1.2kW 標準(1.8kW・2.2kW オプション) | 独自開発 1.8kW(60,000 min⁻¹) | 1.0kW エアースピンドル標準(2.2kW オプション) | — | — | 1.8kW 標準(2.2kW オプション) | — | — | — | 対向デュアル(1.8 kW・最大 60,000 rpm、2.2 kW 高トルク仕様をオプション) | ツインスピンドル | — | — |
| 主要用途 | 300mmウェーハの量産ブレードダイシング | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 樹脂・金属・積層材の曲線切断 | ウェーハ・パッケージのブレードダイシング | QFN・BGA・LED・ガラス・セラミックなどのダイシング | — | — |
| 効果 | — | — | スループット 30〜40% 向上・設置面積 17% 縮小(DFD651 比) | — | — | — | 設置面積 16% 削減・スループット最大約 10% 向上(DFD6362 比) | — | — | — | DAD3350(300mm 特殊)比でスループット最大 90% 向上 | — | — | — | 狭い切り代・ダイ強度の向上 | — |
| 自動化 | ブレード交換・プリカットを自動化(交換約60秒) | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | ブレード自動交換システム(ABES)を搭載可能 | — | — | — |
| 最大ワーク | — | — | — | — | — | — | — | — | Φ8 インチ(特殊仕様で 250mm 角) | — | 360 mm 角 | — | — | — | — | — |
1機種だけが掲載している項目(13件)
| スピンドル構成 | 対向デュアルスピンドル | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 特徴 | X軸復帰・主要搬送部の高速化で前機種比スループット約7%向上 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — |
| オプション | — | — | — | — | — | — | — | 非接触ウェーハ高さ測定器(NSD) | — | — | — | — | — | — | — | — |
| 対応ワーク | — | — | — | — | — | — | — | — | — | Φ300 mm | — | — | — | — | — | — |
| 機能 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 新型非接触セットアップ(測定時間 約 74% 短縮)・SECS/GEM(オプション) | — | — | — | — | — | — |
| カーフ幅 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 0.3 mm(内側コーナー R0.3 mm) | — | — | — | — |
| 軸速度 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | X 1,000 mm/s・Y 300 mm/s・Z 80 mm/s | — | — | — |
| 設置面積 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 斜めレイアウトで従来4台分のスペースに5台を設置 | — | — | — |
| 関連機種 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | AD3000T-HC PLUS/AD3000TW(FOWLP 等の大型パッケージ向け) | — | — | — |
| 対応 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 最大 300mm(296mm/400mm フレーム) | — |
| 工程 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 切断・洗浄・検査・選別を一体化 |
| 保持方式 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | テープではなく製品ごとの真空保持 |
| 検査 | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | — | 100% 検査 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •シリコン・セラミックスなどのダイシング
掲載カテゴリ
DAD3350は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
DISCO
「切る・削る・磨く」技術の世界的リーダー。ダイシングソー、グラインダで市場トップシェアを持ち、超薄ウェーハ加工の完全ソリューションを提供。
ダイシングソーのほかの製品
DFD6362(DISCO)AD3000T-PLUS(東京精密(Accretech))8030(フルオートマチック ダイシングソー)(Advanced Dicing Technologies(ADT))SPTS Mosaic™ プラズマダイシング(KLA)DFD6240(DISCO)DFD6340(DISCO)DFD6361(DISCO)DFD6363(DISCO)DFD6450(DISCO)DFD6560(DISCO)DFD6760(DISCO)DAD3361(DISCO)DAD3660(DISCO)DAW4110(ウォータジェットソー)(DISCO)Fico Sawing Line(Besi)
DISCOのほかの製品
DFD6362(ダイシングソー)DGP8761(バックグラインダー)DFP8140(研磨装置(ポリッシャー))DFL7362(ステルスダイシング)(レーザーダイシング装置)DFM2800(ウェハマウンタ)DAL7440(KABRA® レーザースライサー)(ワイヤソー・スライシング装置)ZH05(ハブブレード)(ダイシングブレード・マウンタ部品)NBC-Z シリーズ(ダイシングブレード・マウンタ部品)DFD6240(ダイシングソー)DFD6340(ダイシングソー)DFD6361(ダイシングソー)DFD6363(ダイシングソー)DFD6450(ダイシングソー)DFD6560(ダイシングソー)DFD6760(ダイシングソー)DAD3361(ダイシングソー)DAD3660(ダイシングソー)DFL7160(レーザーダイシング装置)DFL7262(レーザーダイシング装置)DFL7341(レーザーダイシング装置)DFL7362FH(レーザーダイシング装置)DFL7560L(レーザーダイシング装置)DFL7562(レーザーダイシング装置)DAW4110(ウォータジェットソー)(ダイシングソー)DAG810(バックグラインダー)DFG8340(バックグラインダー)DFG8360(バックグラインダー)DFG8540(バックグラインダー)DFG8560(バックグラインダー)DFG8830(バックグラインダー)DFP8160(研磨装置(ポリッシャー))DGP8762(バックグラインダー)DME8061(ドライエッチャ)(研磨装置(ポリッシャー))DAS8930(サーフェースプレーナ)(ウェハレベルパッケージング)DFS8960(サーフェースプレーナ)(ウェハレベルパッケージング)DMM9200(ウェハマウンタ)DIS100(インスペクションシステム)(最終テスト装置)DDS2300(ダイセパレータ)(レーザーダイシング装置)DDS2030(ダイセパレータ)(レーザーダイシング装置)
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日:2026-10-07