Fico Sawing Line

切断・洗浄・検査・選別の 4 工程を 1 台にまとめたパッケージの個片化システム。

Fico Sawing Lineとは

Fico Sawing Line（FSL）は、Besi の個片化システムです。単一のソリューション提供者による市場で唯一の統合型の個片化システムとされています。

個片化は、大きなストリップから個々の製品を切断、洗浄、検査、選別する 4 つの工程からなります。FSL はこれらの工程をすべて 1 台にまとめ、コンパクトな大きさで単位面積あたりの出力を最大にしています。

テープではなく、製品ごとの確実な真空保持で全工程を同時に行います。特許の切断方法で端材の処理に優れ、高い精度を持ちます。100% 検査で、完全な製品だけを出荷します。

主な特長

•4 工程を 1 台に統合
•製品ごとの真空保持
•100% 検査

主な仕様

工程	切断・洗浄・検査・選別を一体化
保持方式	テープではなく製品ごとの真空保持
検査	100% 検査

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	DISCODFD6362	DISCODFD6240	DISCODFD6340	DISCODFD6361	DISCODFD6363	DISCODFD6450	DISCODFD6560	DISCODFD6760	DISCODAD3350	DISCODAD3361	DISCODAD3660	DISCODAW4110（ウォータジェットソー）	東京精密（Accretech）AD3000T-PLUS	Advanced Dicing Technologies（ADT）8030（フルオートマチックダイシングソー）	KLASPTS Mosaic™ プラズマダイシング	BesiFico Sawing Line
方式	—	フルオートマチック・シングルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・パラレルデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル・デュアルチャックテーブル	オートマチック・シングルスピンドル	オートマチック・シングルスピンドル	オートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	ウォータジェット（水＋研磨材のプリミックス）	—	—	プラズマダイシング（DRIE・Rapier-S／Rapier-300S）	—
対応ウェハ径	300 mm	Φ200 mm	Φ200 mm	Φ300 mm	Φ300 mm（フレーム／ウェーハの Two-way 搬送はオプション）	Φ200 mm	Φ300 mm	Φ300 mm	—	—	—	—	300 mm	最大 12 インチ	—	—
スピンドル	—	1.2kW 標準（1.8kW・2.2kW オプション）	—	1.2kW 標準（1.8kW・2.2kW オプション）	独自開発 1.8kW（60,000 min⁻¹）	1.0kW エアースピンドル標準（2.2kW オプション）	—	—	1.8kW 標準（2.2kW オプション）	—	—	—	対向デュアル（1.8 kW・最大 60,000 rpm、2.2 kW 高トルク仕様をオプション）	ツインスピンドル	—	—
主要用途	300mmウェーハの量産ブレードダイシング	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	樹脂・金属・積層材の曲線切断	ウェーハ・パッケージのブレードダイシング	QFN・BGA・LED・ガラス・セラミックなどのダイシング	—	—
効果	—	—	スループット 30〜40% 向上・設置面積 17% 縮小（DFD651 比）	—	—	—	設置面積 16% 削減・スループット最大約 10% 向上（DFD6362 比）	—	—	—	DAD3350（300mm 特殊）比でスループット最大 90% 向上	—	—	—	狭い切り代・ダイ強度の向上	—
自動化	ブレード交換・プリカットを自動化（交換約60秒）	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	ブレード自動交換システム（ABES）を搭載可能	—	—	—
最大ワーク	—	—	—	—	—	—	—	—	Φ8 インチ（特殊仕様で 250mm 角）	—	360 mm 角	—	—	—	—	—

1機種だけが掲載している項目（13件）

スピンドル構成	対向デュアルスピンドル	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—
特徴	X軸復帰・主要搬送部の高速化で前機種比スループット約7%向上	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—
オプション	—	—	—	—	—	—	—	非接触ウェーハ高さ測定器（NSD）	—	—	—	—	—	—	—	—
対応ワーク	—	—	—	—	—	—	—	—	—	Φ300 mm	—	—	—	—	—	—
機能	—	—	—	—	—	—	—	—	—	新型非接触セットアップ（測定時間約 74% 短縮）・SECS/GEM（オプション）	—	—	—	—	—	—
カーフ幅	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	0.3 mm（内側コーナー R0.3 mm）	—	—	—	—
軸速度	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	X 1,000 mm/s・Y 300 mm/s・Z 80 mm/s	—	—	—
設置面積	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	斜めレイアウトで従来4台分のスペースに5台を設置	—	—	—
関連機種	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	AD3000T-HC PLUS／AD3000TW（FOWLP 等の大型パッケージ向け）	—	—	—
対応	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	最大 300mm（296mm／400mm フレーム）	—
工程	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	切断・洗浄・検査・選別を一体化
保持方式	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	テープではなく製品ごとの真空保持
検査	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	100% 検査