SPTS Mosaic™ プラズマダイシング

DRIE でチップを切り分けるプラズマダイシング装置。切り代が狭く、ダイの取れ数を 80% 以上増やせる場合がある。

SPTS Mosaic プラズマダイシングとは

SPTS Mosaic は、KLA（SPTS）のプラズマダイシング装置です。深堀りシリコンエッチング（DRIE）でチップを切り分ける方法で、ブレードやレーザーによる従来の個片化に代わる手段です。

切り代（カーフ）が狭いため、チップの大きさによってはウェーハあたりのダイ数を 80% 以上増やせます。処理がきれいなため、ダイ・ツー・ウェーハのハイブリッド接合での歩留まりも上がります。化学的に材料を除去するため、ダイの強度と信頼性も高まります。

フレームに貼った最大 300mm のシリコンウェーハからダイを個片化します。Rapier-S モジュールは実績のあるデュアルソースの Rapier をもとに、296mm または 400mm のフレームに貼ったウェーハを扱えます。Mosaic OHT クラスタープラットフォームには 4 つのプロセスモジュールを搭載できます。

主な特長

•DRIE によるプラズマダイシング
•切り代が狭くダイ数増加
•ダイ強度の向上

主な仕様

方式	プラズマダイシング（DRIE・Rapier-S／Rapier-300S）
対応	最大 300mm（296mm／400mm フレーム）
効果	狭い切り代・ダイ強度の向上

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	DISCODFD6362	DISCODFD6240	DISCODFD6340	DISCODFD6361	DISCODFD6363	DISCODFD6450	DISCODFD6560	DISCODFD6760	DISCODAD3350	DISCODAD3361	DISCODAD3660	DISCODAW4110（ウォータジェットソー）	東京精密（Accretech）AD3000T-PLUS	Advanced Dicing Technologies（ADT）8030（フルオートマチックダイシングソー）	KLASPTS Mosaic™ プラズマダイシング	BesiFico Sawing Line
方式	—	フルオートマチック・シングルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・パラレルデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	フルオートマチック・フェイシングデュアルスピンドル・デュアルチャックテーブル	オートマチック・シングルスピンドル	オートマチック・シングルスピンドル	オートマチック・フェイシングデュアルスピンドル	ウォータジェット（水＋研磨材のプリミックス）	—	—	プラズマダイシング（DRIE・Rapier-S／Rapier-300S）	—
対応ウェハ径	300 mm	Φ200 mm	Φ200 mm	Φ300 mm	Φ300 mm（フレーム／ウェーハの Two-way 搬送はオプション）	Φ200 mm	Φ300 mm	Φ300 mm	—	—	—	—	300 mm	最大 12 インチ	—	—
スピンドル	—	1.2kW 標準（1.8kW・2.2kW オプション）	—	1.2kW 標準（1.8kW・2.2kW オプション）	独自開発 1.8kW（60,000 min⁻¹）	1.0kW エアースピンドル標準（2.2kW オプション）	—	—	1.8kW 標準（2.2kW オプション）	—	—	—	対向デュアル（1.8 kW・最大 60,000 rpm、2.2 kW 高トルク仕様をオプション）	ツインスピンドル	—	—
主要用途	300mmウェーハの量産ブレードダイシング	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	樹脂・金属・積層材の曲線切断	ウェーハ・パッケージのブレードダイシング	QFN・BGA・LED・ガラス・セラミックなどのダイシング	—	—
効果	—	—	スループット 30〜40% 向上・設置面積 17% 縮小（DFD651 比）	—	—	—	設置面積 16% 削減・スループット最大約 10% 向上（DFD6362 比）	—	—	—	DAD3350（300mm 特殊）比でスループット最大 90% 向上	—	—	—	狭い切り代・ダイ強度の向上	—
自動化	ブレード交換・プリカットを自動化（交換約60秒）	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	ブレード自動交換システム（ABES）を搭載可能	—	—	—
最大ワーク	—	—	—	—	—	—	—	—	Φ8 インチ（特殊仕様で 250mm 角）	—	360 mm 角	—	—	—	—	—

1機種だけが掲載している項目（13件）

スピンドル構成	対向デュアルスピンドル	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—
特徴	X軸復帰・主要搬送部の高速化で前機種比スループット約7%向上	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—
オプション	—	—	—	—	—	—	—	非接触ウェーハ高さ測定器（NSD）	—	—	—	—	—	—	—	—
対応ワーク	—	—	—	—	—	—	—	—	—	Φ300 mm	—	—	—	—	—	—
機能	—	—	—	—	—	—	—	—	—	新型非接触セットアップ（測定時間約 74% 短縮）・SECS/GEM（オプション）	—	—	—	—	—	—
カーフ幅	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	0.3 mm（内側コーナー R0.3 mm）	—	—	—	—
軸速度	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	X 1,000 mm/s・Y 300 mm/s・Z 80 mm/s	—	—	—
設置面積	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	斜めレイアウトで従来4台分のスペースに5台を設置	—	—	—
関連機種	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	AD3000T-HC PLUS／AD3000TW（FOWLP 等の大型パッケージ向け）	—	—	—
対応	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	最大 300mm（296mm／400mm フレーム）	—
工程	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	切断・洗浄・検査・選別を一体化
保持方式	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	テープではなく製品ごとの真空保持
検査	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	100% 検査