抗折強度是把板狀或棒狀材料彎曲時,到破裂為止所能承受的力(彎曲強度)。在半導體中,作為表示切割後晶片不易破裂程度(晶片強度、die strength)的指標,單位是 MPa(百萬帕)。
量測以3點彎曲試驗為基本:把晶片放在2個支點上,從中央施壓,依破裂時的力計算強度;也有增加支點與施力點的4點彎曲試驗,以及把晶片放在環上、以球施壓的方法。矽是脆性材料,強度取決於表面與邊緣的微小傷痕(研磨痕或切割崩邊),即使條件相同差異也很大。因此要量測大量晶片,以韋伯分布做統計評估。
像智慧型手機或堆疊記憶體那樣把晶片磨薄到數十 μm 時,研磨形成的傷痕層(損傷層)影響變大,晶片容易破裂。因此在研磨後以乾式拋光、CMP 或電漿蝕刻去除損傷層(應力消除,stress relief),以恢復強度。切割崩邊(chipping)也會降低強度,所以會使用先切割再研磨的 DBG,或在內部形成改質層的隱形切割。