最後更新:2026年10月22日後段製程・先進封裝晶圓切割・研磨中國大陸:抗折强度(芯片强度)

抗折強度是什麼(晶片強度)

Flexural Strength

抗折強度是彎曲時能承受到破裂為止的強度,在半導體中用來表示晶片不易破裂的程度(晶片強度)。以3點彎曲試驗量測,因為強度取決於表面與邊緣的微小傷痕,所以用韋伯分布(Weibull)評估。晶片越薄,研磨損傷層越容易造成破裂,因此以應力消除或 DBG 維持強度。

目錄7 項
  1. 定義與原理
  2. 圖解
  3. 常見問題
  4. 相關企業
  5. 相關用語
  6. 比較文章
  7. 資料來源

定義與原理

抗折強度是把板狀或棒狀材料彎曲時,到破裂為止所能承受的力(彎曲強度)。在半導體中,作為表示切割後晶片不易破裂程度(晶片強度、die strength)的指標,單位是 MPa(百萬帕)。

量測以3點彎曲試驗為基本:把晶片放在2個支點上,從中央施壓,依破裂時的力計算強度;也有增加支點與施力點的4點彎曲試驗,以及把晶片放在環上、以球施壓的方法。矽是脆性材料,強度取決於表面與邊緣的微小傷痕(研磨痕或切割崩邊),即使條件相同差異也很大。因此要量測大量晶片,以韋伯分布做統計評估。

像智慧型手機或堆疊記憶體那樣把晶片磨薄到數十 μm 時,研磨形成的傷痕層(損傷層)影響變大,晶片容易破裂。因此在研磨後以乾式拋光、CMP 或電漿蝕刻去除損傷層(應力消除,stress relief),以恢復強度。切割崩邊(chipping)也會降低強度,所以會使用先切割再研磨的 DBG,或在內部形成改質層的隱形切割。

圖解

降低晶片抗折強度的因素(研磨損傷・切割崩邊・厚度)與對策

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單位是 MPa。矽是脆性材料,強度差異很大。

抗折強度(晶片強度)的常見問題

晶片的抗折強度為什麼差異很大?
矽是脆性材料,破裂會從表面或邊緣的微小傷痕開始。傷痕的大小與位置每顆晶片都不同,即使以相同條件製作,強度也會有差異。因此要量測大量晶片,以韋伯分布做統計評估。
如何提高薄晶片的強度?
以乾式拋光、CMP 或電漿蝕刻,去除晶背研磨後留下的細微傷痕層(損傷層)。另外,為了減少切割崩邊,會使用先切割再研磨的 DBG,或在內部形成改質層再裂開的隱形切割。

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相關企業

比較文章

所屬主題

資料來源

  1. SEMI:SEMI International Standards: Compilation of Terms(Updated 1218)(2026年10月10日確認)