AMHS（自動物料搬送系統）是什麼
AMHS（Automated Material Handling System）是在半導體晶圓廠內，將晶圓收納於 FOUP（前開式晶圓傳送盒）等容器中，以天車（OHT）、無人搬運車（AGV）、輸送帶等進行自動搬送的系統。它能將製程間的搬送時間與等待時間降到最低，並排除人員介入造成的微粒汙染。在先進晶圓廠中，數千台 OHT 24 小時運轉，並與最佳化全廠 WIP（在製品）流動的 MES/AMHS 控制器連動。
重點整理
以 OHT（天車）・AGV 自動搬送裝在 FOUP 內的晶圓
排除人員介入，將微粒汙染風險降到最低
與 MES（製造執行系統）連動，即時最佳化 WIP 流動
先進晶圓廠中有數千台 OHT 24 小時連續運轉
藉由縮短搬送時間・提升設備稼動率改善 COO（Cost of Ownership）
常見問題
如果沒有 AMHS，工廠會變成怎樣？
以人工搬送會提高微粒汙染風險，難以維持無塵室的潔淨度。此外，搬送延遲或失誤會導致設備稼動率下降與生產前置時間延長。在先進晶圓廠中，人工搬送並不實際，AMHS 是必要的基礎設施。
主要 AMHS 廠商有哪些？
村田機械（Murata Machinery，日）、大福（Daifuku，日）、Siemens（德）、Swisslog（瑞士）等是主要供應商。能同時提供 OHT 車體與軟體控制系統的系統整合能力是差異化關鍵。
相關用語
比較文章
廠內搬送・自動化的其他分類
設備管理系統（EES）
設備管理系統（EES）是根據從製造設備收集的感測器資料，監控設備狀態並及早偵測異常的軟體。
製造執行系統（MES）製造執行系統（MES）是管理晶圓廠內各批次（lot）目前處於哪個製程、接下來應流向哪台設備的系統。
設備通訊介面（SECS/GEM）設備通訊介面（SECS/GEM）是製造設備與主機電腦進行溝通的通訊標準，以及實作該標準的軟體・硬體。
倉儲系統（Stocker）倉儲系統（stocker）是在半導體製造產線中，暫時自動保管・管理 FOUP（晶圓載具）的無人自動倉儲系統。
晶圓對位機（平邊・缺口對準）平邊・缺口對準機（晶圓對位機，wafer aligner）是偵測晶圓外圍的缺口（notch）或定位平邊（orientation flat），並以晶向為基準旋轉至指定角度進行定位的設…
晶圓雷射刻號・ID 讀取設備晶圓雷射刻號・ID 讀取設備是為每 1 片晶圓刻印獨特識別碼，並在製程中讀取的設備。
晶圓分片機（Wafer Sorter）晶圓分片機（wafer sorter）是在多個載具之間重新排列・移轉晶圓的設備。
晶圓傳送設備晶圓傳送設備是在半導體製造產線各製程設備內部・設備之間自動搬送晶圓的機械手臂、處理機構與輸送系統的總稱。
品質・良率管理系統（YMS）品質・良率管理系統（YMS）是跨領域彙整檢測、量測與測試結果，以統計方式找出良率下降原因的軟體。