冷卻機・溫控機是什麼

冷卻機・溫控機是循環冷媒或熱媒液，讓設備各部位溫度保持一定的單元。電漿處理中的靜電吸盤會因輸入功率而持續升溫，若不以冷卻機將熱量抽走，晶圓溫度就會變動，使蝕刻速率與選擇比產生偏移。要求的穩定度為 ±0.1°C 等級，同時還需要能跟上製程中負載變動的響應性。在曝光機的光學系統、光阻塗佈的熱板等溫度直接影響尺寸精度的部位，一定會配備此單元。

重點整理

循環冷媒或熱媒液，讓設備各部位溫度保持一定
靜電吸盤的溫度變動會使蝕刻速率與選擇比偏移
要求 ±0.1°C 等級的穩定度與對負載變動的響應性
曝光光學系統與熱板等直接影響尺寸精度的部位必備

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