高純度管路・工程是什麼
高純度管路・工程是將超純水、化學品、特殊氣體送達晶圓廠內各設備之管路系統的施工技術。氣體管路使用內面經電解拋光的不鏽鋼無縫管，在隔絕氧氣的氣氛下以自動軌道焊接（orbital welding）連接，使內面不產生氧化物。超純水管路使用 PVDF 或 PFA，重點在於規劃不會形成細菌滋生之滯留區的管路路徑。管路品質在完工後難以量測，因此施工時的管理紀錄直接成為品質保證，這是其特點。
重點整理
將超純水・化學品・特殊氣體送達各設備之管路系統的施工技術
氣體管路以電解拋光管與自動軌道焊接防止內面氧化
超純水管路以樹脂材料規劃不形成滯留區的路徑為重點
完工後難以量測，施工時的管理紀錄即為品質保證
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