廠務設備是什麼
晶圓廠廠務設備是支撐半導體工廠穩定運轉的電力、超純水（UPW）、特殊氣體、化學品、排氣、廢水處理等綜合基礎設施。以 24 小時 365 天連續運轉為前提，要求高純度化、高可靠度與高效率。特別是超純水（10⁻¹⁸ 等級的雜質控制）、特殊氣體供應、尾氣處理（洗滌塔，scrubber）、廢液處理，在良率與環境負荷兩方面都很重要；且能源消耗也占全廠的大部分，因此節能化與減少排放物是先進晶圓廠設計的主要課題。
重點整理
電力・超純水（UPW）・特殊氣體・化學品・排氣・廢水的綜合基礎設施
以 24 小時連續運轉為前提的高純度・高可靠度設計
超純水實現雜質 10⁻¹⁸ 等級的超高純度
尾氣處理（洗滌塔）・廢液處理是因應環境法規的關鍵
能源消耗占全廠相當部分，節能化是重要課題
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