RF 測試（高頻測試）是量測處理智慧型手機、無線區域網路、雷達等所用，數百 MHz 到數十 GHz 高頻訊號之半導體（RF 元件）特性的試驗。不像數位晶片那樣檢查 0 與 1 是否正確，而是量測訊號能放大多少、會加入多少雜訊、使訊號波形失真多少等類比性能。
基本量測是 S 參數（散射參數）。將高頻訊號輸入元件，依頻率量測反射回輸入端的訊號（反射：S11）與穿透到輸出端的訊號（傳輸：S21）的大小與相位。量測使用向量網路分析儀（VNA）。此外，也量測放大器的輸出功率與效率、雜訊指數（NF）、失真、調變訊號的品質（EVM）等。
量產測試會使用將這些量測功能整合進 ATE 的 RF 測試機，以測試分類機連續量測封裝品。在高頻下，即使是測試座或 DUT 板上些微的線路長度與寄生成分也會改變結果，因此將誤差排除至量測參考面的校正（calibration）不可或缺。像 5G 毫米波這樣頻率越高，也會採用連同天線一起、將電波發射到空間中量測的 OTA（Over the Air）試驗。
