最後更新:2026年10月8日測試設備測試設備中國大陸:ATE(自动测试设备)

ATE(自動測試設備)是什麼

Automated Test Equipment

ATE(自動測試設備)是自動且高速檢測半導體晶片電氣特性、功能與性能的設備,對晶片輸入測試圖樣並將輸出訊號與參考值比對,以高速篩選良品與不良品。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 相關企業
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

ATE(Automated Test Equipment:自動測試設備)是自動且高速檢測半導體晶片電氣特性、功能與性能的設備。對封裝後的晶片輸入測試圖樣(test pattern),將輸出訊號與參考值比對,以高速篩選良品與不良品。ATE也稱為測試機,依用途有邏輯、記憶體、SoC、類比、RF、功率元件等專用機型。

ATE市場由愛德萬測試(Advantest,日本)與泰瑞達(Teradyne,美國)2家寡占,占全球市場90%以上。愛德萬測試以SoC、記憶體、快閃記憶體用的V93000、T2000系列為主力產品,泰瑞達則以邏輯用UltraFlex、記憶體用ETS-800系列為主力。AI/HPC用GPU與HBM旺盛的測試需求,使愛德萬測試的營收在近幾年急速擴大。

ATE與晶圓針測機搭配使用。在晶圓狀態下進行的針測(晶圓最終測試:WFT)中,針測機透過探針卡連接ATE與晶粒,在封裝前檢出不良晶粒(這與KGD:Known Good Die的篩選相關)。封裝後則經由專用的測試分類機(handler)送至ATE進行最終測試。

AI晶片與次世代記憶體的測試技術難度急速上升。HBM3E的記憶體頻寬超過1TB,ATE端也需要超寬頻的測試腳位與高速圖樣產生器才能進行測試。在SoC與邏輯晶片方面,各家也競相開發支援3GHz以上高速介面(PCIe 6.0、UCIe、HBM4等)的測試頭。

縮短測試時間(Test Time)直接影響成本競爭力,因此平行測試(Multi-DUT Test:同時測試多顆晶片)、DFT(Design for Testability:可測試性設計),以及運用AI的適應性測試(Adaptive Testing)以刪減不必要測試項目等方法已實用化。隨著先進封裝(小晶片、HBM)普及,封裝組裝後的系統級測試(SLT)也日益重要。

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