RFテスト（高周波テスト）とは、スマートフォンや無線LAN、レーダーなどで使われる、数百MHzから数十GHzの高い周波数の信号を扱う半導体（RFデバイス）の特性を測る試験です。デジタルのチップのように0と1が正しいかを調べるのではなく、信号をどれだけ増幅できるか、どれだけ雑音を加えるか、信号の形をどれだけゆがめるかといったアナログの性能を測ります。
基本となる測定がSパラメータ（散乱パラメータ）です。デバイスの入力に高周波の信号を入れ、入力側に跳ね返ってくる信号（反射：S11）と、出力側に通り抜けてくる信号（伝送：S21）の大きさと位相を、周波数ごとに測ります。測定にはベクトルネットワークアナライザ（VNA）を使います。このほか、増幅器の出力の大きさと効率、雑音指数（NF）、ひずみ、変調した信号の品質（EVM）なども測ります。
量産のテストでは、こうした測定機能をATEに組み込んだRFテスタを使い、ハンドラでパッケージ品を次々に測ります。高い周波数では、テストソケットやDUTボードのわずかな配線の長さや寄生成分でも結果が変わるため、測定の基準面まで誤差を取り除く校正（キャリブレーション）が欠かせません。5Gのミリ波のように周波数が上がるほど、アンテナを含めて空間に電波を飛ばして測るOTA（Over the Air）試験も使われます。
