最後更新:2026年10月8日清洗晶圓清洗

SC2清洗(HPM清洗)是什麼

SC2 Cleaning (HPM)

SC2清洗(HPM清洗)是以鹽酸・過氧化氫水・純水的混合液(傳統為1:1:6、70~80℃)去除晶圓表面金屬污染的濕式清洗。這是RCA清洗的第2液,將金屬氧化後轉為可溶於水的氯化物去除。由於幾乎不會蝕除矽與氧化膜,用作SC1清洗之後去除金屬的步驟。

目錄5 項
  1. 定義與原理
  2. 常見問題
  3. 相關企業
  4. 相關用語
  5. 比較文章

定義與原理

SC2清洗是以鹽酸(HCl)・過氧化氫水(H₂O₂)・純水的混合液清洗晶圓,去除表面金屬污染的濕式清洗。相當於RCA清洗的第2液(Standard Clean 2),依藥液成分也稱為HPM(Hydrochloric acid-hydrogen Peroxide Mixture)清洗。

傳統的標準條件為HCl:H₂O₂:H₂O=1:1:6的比例,液溫約70~80℃。過氧化氫將表面的金屬氧化,鹽酸再將其轉為可溶於水的氯化物而去除。主要任務是減少鐵・鎳・銅・鈉・鋁等由前一道SC1清洗或設備・藥液帶入的金屬。由於幾乎不會溶解矽與氧化膜,能在不蝕除晶圓表面的情況下清洗,處理後表面會留下薄的化學氧化膜。

金屬污染會造成閘極氧化膜的絕緣崩潰、接面漏電流,以及載子壽命下降,因此在閘極氧化前等重要步驟,結合SC1與SC2的RCA清洗長期被視為標準。目前為減少藥液與純水用量,也會使用稀釋的SC2,或組合常溫稀鹽酸、添加鹽酸的稀氫氟酸、臭氧水等的清洗方式。鹽酸蒸氣會腐蝕設備的金屬零件,因此在排氣與設備材料的選擇上也需注意。

SC2清洗(HPM清洗)的常見問題

SC2清洗可以去除哪些污染?
主要是鐵・鎳・銅・鈉・鋁等金屬污染。以過氧化氫將金屬氧化,再以鹽酸轉為可溶於水的氯化物去除。對微粒與有機物的去除能力小,這些污染要以SC1清洗或SPM清洗去除。
RCA清洗為什麼要在SC1之後做SC2?
鹼性的SC1清洗擅長去除微粒,但溶液中的金屬容易附著到表面。因此最後以酸性的SC2清洗去除金屬,就能得到微粒與金屬都很少的潔淨表面。

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