蕭特基接面是指金屬與半導體接觸時,界面形成能量障壁(蕭特基能障),使電流容易往單一方向流動的整流性接面。也稱為蕭特基接觸,名稱來自約在1938年提出此理論的德國物理學家華特・蕭特基(Walter Schottky)。是與不論電流方向都能以低電阻導通的歐姆接觸相對的概念。
理想情況下,對n型半導體的能障高度φB,由金屬功函數φm與半導體電子親和力χ的差(φB=φm−χ)決定(蕭特基-莫特定律)。不過在實際的矽或GaAs中,已知界面能階會使費米能階被固定,即使更換金屬,能障高度也幾乎不變(費米能階釘扎)。施加順向電壓時,半導體側的電子越過能障流向金屬(熱電子發射),逆向則幾乎沒有電流。與pn接面不同,它只靠多數載子運作,因此沒有少數載子的累積、切換速度快,且順向電壓在矽中約0.3~0.5V,比pn接面(約0.7V)低,這些是其特點。
代表性應用是蕭特基二極體(SBD),用於交換式電源的整流等。矽SBD的弱點是逆向漏電流大、耐壓低,但SiC SBD兼具600V以上的高耐壓與幾乎沒有逆向恢復電流的特性,廣泛用於電動車與太陽光電的逆變器。GaAs的MESFET與GaN的HEMT也以蕭特基接面作為閘極電極。能障高度與理想因子,以電流-電壓(I-V)特性或電容-電壓(C-V)特性評估。