最後更新:2026年10月8日後段製程・先進封裝先進封裝

SoIC(系統整合晶片)是什麼

System on Integrated Chips

SoIC(系統整合晶片)是台積電提供的 3D 先進封裝技術,不使用凸塊,而以銅對銅的混合鍵合直接接合多顆晶粒並垂直堆疊。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 相關企業
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

SoIC(System on Integrated Chips)是台積電提供的 3D 先進封裝技術,不使用凸塊,而以銅對銅的混合鍵合直接接合多顆晶粒並垂直堆疊。由於採用不經由焊料凸塊的無凸塊接合,可大幅微縮連接間距,與傳統的覆晶堆疊相比,能大幅提升線路密度、頻寬與能源效率。

SoIC 的接合以 Cu-Cu 混合鍵合為基礎:先將各晶粒表面的銅焊墊與絕緣膜平坦化,在室溫下貼合,再以退火使銅一體化。連接間距從微凸塊的數十 μm 縮小到數 μm 以下,使晶粒之間能如同1顆晶片般緊密結合。有 Wafer-on-Wafer(WoW)與 Chip-on-Wafer(CoW)兩種方式。

SoIC 不僅可單獨使用,還能與台積電的 2.5D 技術 CoWoS 組合成「SoIC+CoWoS」架構,將以 3D 堆疊的晶粒群再於中介層上與 HBM 連接,實現多層次的整合。超微(AMD)的 3D V-Cache(堆疊 SRAM)是廣為人知的 SoIC 系技術代表性採用案例。

SoIC 與英特爾的 Foveros 並列為 3D 混合鍵合的主要解決方案,在 AI・HPC・高效能 CPU 領域的需求正急速擴大。混合鍵合設備(EV Group・SUSS MicroTec)以及超精密的平坦化・接合製程,是量產的關鍵。

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