最後更新:2026年10月22日測試設備中國大陸:测试头(Test Head)

測試頭是什麼(Test Head)

Test Head

測試頭是半導體自動化測試設備(ATE)中,放在待測晶片旁邊、容納送出與接收訊號電路的部分。內部排列著 Pin Electronics 與電源板,晶圓測試時連接針測機,最終測試時連接測試分類機來量測晶片。可同時量測的數量左右測試成本。

目錄7 項
  1. 定義與原理
  2. 圖解
  3. 常見問題
  4. 相關企業
  5. 相關用語
  6. 比較文章
  7. 資料來源

定義與原理

測試頭(test head)是半導體自動化測試設備(ATE)中,放在待測晶片旁邊、容納送出與接收訊號電路的部分。ATE 分為控制整體的主機(mainframe)與這個測試頭。測試頭內部密密麻麻地排列著處理各腳位訊號的 Pin Electronics 板、電源板,以及類比與 RF 量測板等。

把測試頭放在待測晶片附近,是為了縮短線路、精確地收送高速訊號。晶圓測試時,測試頭蓋在晶圓針測機上,透過探針卡連接到晶圓上的晶片。封裝後的最終測試則把測試頭接上測試分類機,透過 DUT 板(load board)與測試座接觸晶片。

測試頭可重達數百 kg,要以稱為 manipulator 的支撐機構抬起、旋轉,對準針測機或分類機後安裝(docking)。1台測試頭可同時量測的晶片數(同測數),以及可搭載的板卡種類與數量,大幅左右測試成本與產出。

圖解

訊號從主機經測試頭、探針卡或 DUT 板到達待測晶片的路徑

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測試頭要與針測機或分類機 docking 後使用。

測試頭(Test Head)的常見問題

測試頭和主機有什麼不同?
主機是容納控制整台 ATE 的電腦、電源與冷卻等的本體。測試頭則容納對待測晶片收送訊號的電路,為了縮短線路而放在晶片旁邊。兩者以纜線連接。
什麼是 docking?
把測試頭對準晶圓針測機或測試分類機後安裝的動作。測試頭很重,要以 manipulator 支撐機構抬起並調整方向,固定到能與探針卡或 DUT 板的電極準確接觸的位置。

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