測試頭(test head)是半導體自動化測試設備(ATE)中,放在待測晶片旁邊、容納送出與接收訊號電路的部分。ATE 分為控制整體的主機(mainframe)與這個測試頭。測試頭內部密密麻麻地排列著處理各腳位訊號的 Pin Electronics 板、電源板,以及類比與 RF 量測板等。
把測試頭放在待測晶片附近,是為了縮短線路、精確地收送高速訊號。晶圓測試時,測試頭蓋在晶圓針測機上,透過探針卡連接到晶圓上的晶片。封裝後的最終測試則把測試頭接上測試分類機,透過 DUT 板(load board)與測試座接觸晶片。
測試頭可重達數百 kg,要以稱為 manipulator 的支撐機構抬起、旋轉,對準針測機或分類機後安裝(docking)。1台測試頭可同時量測的晶片數(同測數),以及可搭載的板卡種類與數量,大幅左右測試成本與產出。