Producer Viva Radical Treatment的特點與規格

Producer Viva 是應用材料的自由基處理設備。在 AI 與 HPC 用的 GAA（環繞式閘極）電晶體中，矽通道（奈米片）的表面狀態左右性能，即使只有數 Å 的粗糙度或雜質，也會使界面陷阱增加，降低載子遷移率與電晶體速度。

核心是產生不含離子之純自由基的專利供應結構。自由基沒有方向性，因此即使在深埋、無法直接看見的結構內部，也能進行均勻且共形的表面處理，且不會有離子電漿造成的結構損傷。

自由基降低了矽原子表面遷移所需的能量，藉此將奈米片表面平滑化至 Å 等級。