最後更新:2026年10月23日乾式清洗設備

Selective Etch的特點與規格

科林研發(Lam Research)・乾式清洗設備

在不損傷周圍材料的情況下等向性去除材料的科林研發選擇性蝕刻產品系列。也用於表面處理與源極/汲極成膜前的預清潔。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

科林研發的 Selective Etch 產品系列,是在不使周圍材料變質或受損的情況下,從晶圓表面等向性去除材料的選擇性蝕刻解決方案。由 Argos、Prevos、Selis 共3項產品組成。

隨著 FinFET 逼近微縮極限,先進邏輯正轉向 GAA(奈米片)結構,記憶體方面繼 NAND 之後 DRAM 也朝 3 維化發展。在這類結構中,需要選擇性且等向性(全方向均勻)地去除材料,進行縱向・橫向如「雕刻」般的加工。

以超高選擇比與埃(Å)級精度,即使在高深寬比下也能進行等向性去除,防止重要材料的損耗與表面變質。也具備控制界面物理・電氣特性的表面處理,有助於提升元件速度與性能。

主要規格

方式等向性選擇性蝕刻・表面處理
系列組成Argos/Prevos/Selis
主要用途S/D 成膜前預清潔・表面除汙・SiGe 去除(GAA)・氧化膜凹陷

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

等向性去除與埃級精度
以原子尺度控制防止重要材料的損耗・損傷
控制界面特性的表面處理
Argos/Prevos/Selis 共3項產品

主要用途

  • 虛設多晶矽去除、GAA 的 SiGe 去除
  • 氧化膜凹陷、Si 修整
  • 源極/汲極成膜前預清潔、表面除汙・改質

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹):1996 年成立的台灣技術訓練中心
  • Lam Research Manufacturing(桃園市中壢區):2016 年成立的製造子公司與全球翻新中心
  • 台南據點(台南):支援南部客戶的辦公室與訓練教室

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資料來源

  1. 科林研發(Lam Research)官方產品頁面:Lam Research Selective Etch Product Family