科林研發的 Selective Etch 產品系列,是在不使周圍材料變質或受損的情況下,從晶圓表面等向性去除材料的選擇性蝕刻解決方案。由 Argos、Prevos、Selis 共3項產品組成。
隨著 FinFET 逼近微縮極限,先進邏輯正轉向 GAA(奈米片)結構,記憶體方面繼 NAND 之後 DRAM 也朝 3 維化發展。在這類結構中,需要選擇性且等向性(全方向均勻)地去除材料,進行縱向・橫向如「雕刻」般的加工。
以超高選擇比與埃(Å)級精度,即使在高深寬比下也能進行等向性去除,防止重要材料的損耗與表面變質。也具備控制界面物理・電氣特性的表面處理,有助於提升元件速度與性能。