Candela 8520 是科磊（KLA）用於化合物半導體材料的表面檢測・光致發光（PL）檢測設備。為第2代 PL・表面整合檢測系統，可高度評估 SiC 與 GaN 基板・磊晶層的缺陷。
擷取表面凹凸、表面反射率、相位偏移與光致發光，自動偵測並分類廣泛的關鍵缺陷（DOI）。以獨家光學技術同時量測 2 種入射角下的散射強度。
在 GaN 晶圓上可偵測並分類差排、凹坑與孔洞，用於 GaN 反應爐的缺陷管理。在功率元件用途中，則進行透明 SiC 晶圓的檢測，以及基面差排（BPD）等結晶缺陷的分類。
Candela 8520的特點與規格
科磊（KLA）・晶體缺陷檢測設備
用於功率元件 SiC・GaN 基板與磊晶晶圓的缺陷檢測設備。
產品概要
主要規格
| 檢測對象 | SiC・GaN 基板／磊晶晶圓（無圖形） |
|---|---|
| 檢出缺陷 | 表面缺陷・磊晶缺陷 |
| 相關機種 | Candela 8720（LED・化合物半導體用） |
| 主要用途 | 功率元件用基板的品質管理 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
整合表面檢測與光致發光（PL）檢測
同時量測 2 種入射角的散射強度
自動偵測・分類結晶缺陷（BPD 等）
主要用途
- SiC 基板・磊晶晶圓的結晶缺陷檢測
- GaN 的差排・凹坑管理
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣總部（新竹縣竹北市）：台元科技園區，2025 年啟用新辦公室與訓練中心
- 各地據點（新竹・桃園・林口・台中・台南・高雄）：就近支援各科學園區的客戶