Candela 8720的特點與規格

Candela 8720 是科磊（KLA）的表面缺陷・光致發光（PL）缺陷一體式檢測設備。可廣泛擷取基板與磊晶層的重要缺陷。

以獨家光學技術同時量測 2 種入射角的散射強度，擷取表面凹凸、反射率、相位偏移與光致發光，自動偵測並分類值得關注的缺陷。

用於 RF、功率、高亮度 LED 用 GaN 的檢測，可偵測裂痕、結晶差排、小丘、微坑、滑移線、凸起、六角形凸起與磊晶缺陷。也用於其他高性能化合物半導體的缺陷檢測。