Candela 8420的特點與規格

Candela 8420 是科磊（KLA）用於化合物半導體材料的表面缺陷檢測設備。以多通道偵測與基於規則的缺陷分類，偵測不透明・半透明・透明晶圓上的微粒與刮傷。

對象為 GaAs、InP、鉭酸鋰（LT）、鈮酸鋰（LN）、玻璃、藍寶石等。以獨家的 OSA（光學表面分析）架構，同時量測散射強度、表面凹凸、反射率與相位偏移，自動偵測並分類值得關注的缺陷。

數分鐘即可檢測晶圓全面，並產生高解析度影像，以及包含缺陷分類與晶圓圖的自動檢測報告。