GALOIS211 是 Lasertec 的 GaN 晶圓缺陷檢測・複檢設備。GALOIS 系列於 2017年12月發表。可快速偵測 GaN 晶圓的各種缺陷，並以高解析度觀察。
採用適合透明基板檢測的共焦光學系統，不受背面反射等影響，可穩定檢測。以微分干涉光學系統高靈敏度偵測淺刮傷與各種結晶缺陷。由於可透過光源與光學濾鏡選擇波長，即使是 GaN on SiC 等異質磊晶結構，也不受膜干涉影響，能以最佳條件檢測。
以最新的影像處理，不受 GaN 表面形貌影響即可檢測，6 吋晶圓 6 分鐘即可完成。用於塊材 GaN、同質磊晶・異質磊晶 GaN 晶圓的缺陷檢測，以及磊晶成長・研磨的製程管理。