Candela 8520とは
Candela 8520 は、KLA の化合物半導体材料向け 表面検査・フォトルミネッセンス（PL）検査装置です。第2世代の PL・表面統合検査システムで、SiC と GaN の基板・エピタキシャル層の欠陥を高度に評価します。
表面の凹凸、表面反射率、位相シフト、フォトルミネッセンスを捉え、幅広い重要欠陥（DOI）を自動で検出・分類します。独自の光学技術で、2つの入射角での散乱強度を同時に測定します。
GaN ウェーハでは転位、ピット、ホールを検出・分類し、GaN 反応炉の欠陥管理に使われます。パワーデバイス用途では、透明な SiC ウェーハの検査と、基底面転位（BPD）などの結晶欠陥の分類を行います。
主な特長
- •表面検査とフォトルミネッセンス（PL）検査の統合
- •2つの入射角での散乱強度を同時測定
- •結晶欠陥（BPD など）の自動検出・分類
主な仕様
| 検査対象 | SiC・GaN 基板／エピウェーハ（パターンなし） |
|---|---|
| 検出欠陥 | 表面欠陥・エピ欠陥 |
| 関連機種 | Candela 8720（LED・化合物半導体向け） |
| 主要用途 | パワーデバイス用基板の品質管理 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | KLACandela® 8520 | レーザーテックSICA88 |
|---|---|---|
| 検査対象 | SiC・GaN 基板／エピウェーハ（パターンなし） | SiC ウェーハ・エピウェーハ |
| 検出欠陥 | 表面欠陥・エピ欠陥 | エピ欠陥・スクラッチ・BPD・積層欠陥（自動分類） |
| 関連機種 | Candela 8720（LED・化合物半導体向け） | SICA108（検査光学系を刷新した後継機） |
| 主要用途 | パワーデバイス用基板の品質管理 | SiC ウェーハの出荷・受入検査、エピ工程管理 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •SiC 基板・エピウェーハの結晶欠陥検査
- •GaN の転位・ピット管理
掲載カテゴリ
Candela 8520は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06