Surfscan® SP7XP

ベアウェーハやブランケット膜の微小欠陥を DUV レーザーで検出する KLA のパターンなしウェーハ検査装置。

Surfscan SP7XPとは

Surfscan SP7XP は、KLA が 2020年12月に発表したパターンなしウェーハの欠陥検査装置です。ベアウェーハやブランケット膜上の最小級の欠陥を検出し、基板・装置・材料・チップの各メーカーの品質管理を支えます。

12.5nm の検査モードと新しい低ノイズセンサーにより、先端の研究開発に必要な感度を備えます。量産で使う検査モードのスループットも上げており、研究開発から量産まで同じ装置で使えます。

垂直照明（NI）は埋め込み変形・スクラッチ・スリップライン・残渣など材料コントラストの低い欠陥を素早く見つけ、位相差チャネル（PCC）は浅い凸や残渣のような散乱の弱い欠陥を捉えます。機械学習を使った画像分類（IBC）や、3D NAND の厚膜中の埋め込み欠陥を分類する Z7 エンジンも搭載し、FIB・SEM による破壊解析の手間を減らします。

主な特長

•12.5nm 検査モードと低ノイズセンサー
•垂直照明（NI）と位相差チャネル（PCC）
•機械学習による画像ベース欠陥分類（IBC）
•埋め込み欠陥を分類する Z7 分類エンジン
•SurfServer によるレシピの一括配信

主な仕様

検査対象	パターンなしウェーハ（ベア・膜付き・レジスト）
検出方式	DUV レーザー（位相差チャネル・垂直照明）
検出感度	12.5 nm 検査モード
主要用途	装置・工程・材料の品質認定とモニタ

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLASurfscan® SP7XP	Onto InnovationDragonfly® G3	日立ハイテクDI4600（暗視野式ウェーハ欠陥検査装置）	CamtekEagle G5
検査対象	パターンなしウェーハ（ベア・膜付き・レジスト）	パターン付きウェーハ（先端パッケージ）	パターン付きウェーハ（φ300 mm 専用）	パターン付きウェーハ（先端パッケージ）
検出方式	DUV レーザー（位相差チャネル・垂直照明）	明視野・暗視野・高速 IR・Clearfind（有機残渣）	暗視野（シートビーム・空間フィルタ）	2D 検査・3D 計測
主要用途	装置・工程・材料の品質認定とモニタ	RDL・マイクロバンプ・Cu ピラー・接合ウェーハ	先端メモリ・ロジックのインライン欠陥管理	HPC・CIS・SiC、微細マイクロバンプ・ハイブリッド接合
特徴	—	3Di によるバンプ高さ計測、EB40 でエッジ・裏面検査	高スループットと検出感度の両立・高い装置間マッチング	—