最後更新:2026年10月23日巨觀檢測設備

AMI-5700的特點與規格

尼康(Nikon)・巨觀檢測設備

一次拍攝晶圓全面進行高速檢測,並以 1 台完成 CD・膜厚・焦距量測的尼康自動巨觀檢測設備。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

AMI-5700 是尼康的自動巨觀檢測設備。兼顧高產能與優異的檢出靈敏度,比既有機型進一步提高靈敏度與精度。除了以一次拍攝晶圓全面進行高速檢測,也能進行高速量測,以 1 台完成檢測與量測。

以接收繞射光檢出圖形不良與塗佈不均,以散射檢測檢出 15µm 尺寸的異物與刮傷,背面異物與刮傷檢測也可選配。具備良品學習影像處理、自動建立配方、ADC(自動缺陷分類)、重工(rework)判定自動化等功能。

可選配同時進行 CD 量測、膜厚量測、焦距量測。支援 300mm 缺口晶圓,載入埠數可選 2 或 3。檢測產能在標準倍率下為每小時 180 片以上。以全數檢測捕捉隨機缺陷。

主要規格

適用晶圓符合 SEMI 規格的 300mm 缺口(notch)晶圓
檢測產能每小時 180 片以上(標準倍率時)
量測(選配)CD・膜厚・焦距

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

一次拍攝晶圓全面
每小時 180 片以上
以 1 台完成檢測與量測
全數檢測

主要用途

  • 微影製程的巨觀檢測
  • 塗佈不均・圖形不良的檢出

製造商

尼康(Nikon)(總部:日本)

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資料來源

  1. 尼康(Nikon)官方產品頁面:AMI-5700