AMI-5700 是尼康的自動巨觀檢測設備。兼顧高產能與優異的檢出靈敏度,比既有機型進一步提高靈敏度與精度。除了以一次拍攝晶圓全面進行高速檢測,也能進行高速量測,以 1 台完成檢測與量測。
以接收繞射光檢出圖形不良與塗佈不均,以散射檢測檢出 15µm 尺寸的異物與刮傷,背面異物與刮傷檢測也可選配。具備良品學習影像處理、自動建立配方、ADC(自動缺陷分類)、重工(rework)判定自動化等功能。
可選配同時進行 CD 量測、膜厚量測、焦距量測。支援 300mm 缺口晶圓,載入埠數可選 2 或 3。檢測產能在標準倍率下為每小時 180 片以上。以全數檢測捕捉隨機缺陷。