LX 系列的特點與規格

LX 系列是 Lasertec 的多波長晶圓檢測設備。利用多波長的光，在晶圓全面高速檢測膜厚、蝕刻差異與 CD。

由於能高速對全面取像，適合量產製程的監控。以獨家的高亮度・低雜訊多波長光學系統提高靈敏度，並針對膜厚、蝕刻量、CD 等不同檢測對象具備獨家的分析演算法。可依用途選擇高解析度機型或高產能機型。

用於監控微影製程中光阻膜厚與 CD 的差異、薄膜沉積製程中的膜厚管理與設備 QC，以及蝕刻製程中深度差異的監控。