F30 是 Onto Innovation 的自動缺陷檢測設備。消除暗場微觀檢測與傳統巨觀檢測之間的界線，自動進行前段製程與出貨品質保證（OQA）的檢測。
結合高解析度與高產能，提升晶圓廠的良率與生產力。以 5 個物鏡的轉盤在解析度與產能之間切換使用，並透過明場、暗場、高角度環形照明、IR 複檢的多通道照明，對應各種製程的檢測。
具備無需晶圓即可建立配方（recipe）、FOUP 同時處理、配方伺服器、機台間匹配等提升生產力的功能。可處理 100～300mm 晶圓，與邊緣・背面模組 EB40 組合即可進行全面檢測。