OPTISTATION-3200 是尼康的晶圓外觀檢測設備。可用 1 台進行巨觀檢測與顯微鏡檢測，簡單且迅速地完成 300mm 與 200mm 晶圓的目視檢查。既可作為線上（inline）檢測系統，也可作為研發的缺陷解析工具使用。
巨觀檢測時，夾持晶圓背面的中央部或外周部，以搖桿將晶圓擺成各種姿勢並旋轉，以目視觀察異物、刮傷與光阻塗佈不均。也可透過擷取巨觀影像取代目視檢查。微觀檢測時，切換 6 支高 NA、長工作距離的 CFI60-2 物鏡，並切換明場與暗場進行觀察。
系列包含前段製程用、2 埠的 OPTISTATION-3200，自動載台的 3100，以及手動載台的 3000。選配也支援微分干涉觀察、紅外線觀察、3D 量測、邊緣寬度（EBR）量測、邊緣崩缺檢出與 KLARF 複檢。