CIEL 系列的特點與規格

CIEL 系列是 Lasertec 的高靈敏度晶圓邊緣檢測設備。於 2022年12月發表。能高精度分類過去機種無法處理的晶圓邊緣與斜面（bevel）缺陷。

可辨識過去無法檢出・分類的微小缺陷，也具備 3D 量測功能。另搭載可依營運需求使用的高產能模式。

用於半導體元件製程中晶圓邊緣・斜面的製程監控與回饋、擷取直接影響良率的缺陷，以及透過 3D 量測改善製程。