ZI-2000的特點與規格

ZI-2000 是 SCREEN 的圖案化晶圓外觀檢測設備。追求高速、小型與成本效益，廣泛支援從需要彈性的前段製程中檢測，到要求速度的最終外觀檢測。

以採用自製鏡頭與照明系統的檢測頭和高速影像處理引擎，實現不受晶片大小或數量影響的高產能。

由於採用不需事先學習影像的比較檢測方式（Die to Die、Cell to Cell），檢測配方製作簡單，新的晶圓也能立即檢測。可即時確認包含缺陷候選影像的檢測結果，並以即時的自動缺陷分類（ADC）只確認必要的結果。光源為 RGB 3 色 LED。