ZI-3600 是 SCREEN 的圖案化晶圓外觀檢測設備。搭載 3 種解析度不同的鏡頭，兼顧高解析度與高生產力。
透過自主開發的檢測頭與高速影像處理引擎的改良，實現約為前代機型 ZI-3500 2 倍的處理能力。由於採用線型感測器的全面檢測方式，不論晶片大小或數量都能以固定速度檢測。
以新的物鏡可檢出 1µm 以下的微細缺陷並進行不良分析。一邊自動切換 3 種鏡頭，一邊以 1 台設備檢測從微細缺陷到巨觀缺陷。可一邊觀看實際晶圓影像一邊設定檢測條件，並可選配在檢測的同時進行 CD 量測或疊對量測。