東京威力科創的批次噴灑式清洗設備。以高溫藥液處理的 ViPR+ 技術，在短時間內剝除光阻或矽化物等膜。
目錄5 項
- 產品概要
- 主要規格
- 主要特點
- 製造商與在台據點
- 資料來源
產品概要
ZETA+ 是東京威力科創的批次噴灑式清洗設備。能有效率且彈性地同時因應光阻、矽化物等膜的剝除與一般清洗，出貨實績眾多。
透過可進行高溫藥液處理的獨家 ViPR+ 技術，在短時間內剝除光阻・矽化物・其他膜，實現高性能・高生產力・低成本的製程。也可用於 FEOL／BEOL 的蝕刻後清洗、RCA 清洗、DHF 濕式蝕刻等。
有支援 300／200mm 的全自動機 ZETA+200/300，以及支援 200／150mm 的半自動機共2種機型。全自動機具備微環境（mini-environment）機構並支援 FOUP／SMIF，可對密閉式單一腔體供應最多 8 種藥液，混合比・濃度・溫度可透過配方設定。與單片式清洗設備相比更具經濟性。
主要規格
| 適用晶圓尺寸 | 200／300 mm（Semi-auto 為 150／200 mm） |
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| 方式 | 批次噴灑式（密閉單一腔體，藥液最多 8 種） |
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| 產能 | 450 wph（200 mm）／230 wph（300 mm） |
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| 主要用途 | 光阻・金屬剝除、蝕刻後清洗、RCA 清洗、DHF 蝕刻 |
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規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
全自動（200／300mm）與半自動（150／200mm）2種機型 主要用途
- 光阻・矽化物・金屬的剝除
- FEOL／BEOL 蝕刻後清洗、RCA 清洗、DHF 濕式蝕刻
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣東京威力科創（新竹）：台灣子公司（1996 年成立）。設有訓練中心，並規劃擴建無塵室
- 台南營運中心（台南）：動工時預計 2024 年下半年完工，樓地板面積約 3.5 萬平方公尺，可容納近千名員工，負責零組件處理、技術服務與維修