WS-620C／WS-820C／WS-820L的特點與規格

WS-620C／WS-820C／WS-820L 是 SCREEN 的批次式清洗系統（濕式清洗台）。是可彈性組成產線架構的高產能設備。

有連同載具傳送處理的 WS-620C（150mm 用）與 WS-820C（200mm 用），以及不使用載具傳送的 WS-820L（200mm 用）共 2 種傳送方式。可依目的自由組成系統，處理槽最多可設置 13 槽。

以多個槽與最多 6 台傳送機械手臂實現高產能。透過處理槽最佳化、嚴格的藥液管理與潔淨的乾燥部，進行穩定且高品質的處理。WS-820L 可搭載減壓乾燥設備，進行抑制水痕的潔淨乾燥。