SP-2100 是 SCREEN 的單片式旋轉處理機。承襲具豐富實績的取放（pick and place）式機械傳送，以單程傳送穩定地搬運晶圓。
除了矽之外，也支援 SiC、GaN、LiTaO₃ 等各種化合物晶圓，晶圓尺寸涵蓋 76mm 至 200mm。具備也能進行高溫強酸清洗・蝕刻的多工腔體，以及進行水洗與高速旋轉乾燥的乾燥腔體。
以選配的獨家終點感測器，可進行再現性高的金屬蝕刻。清洗工具可選擇 Nanospray 或 Softspray，也可為 CMP 後清洗等用途搭載表面刷洗。
SP-2100的特點與規格
SCREEN（斯庫林）・濕式蝕刻設備
支援 76～200mm Si・SiC・GaN・LiTaO₃ 等的單片式旋轉處理機。用於清洗・蝕刻・金屬蝕刻。
產品概要
主要規格
| 適用晶圓尺寸 | 76～200 mm |
|---|---|
| 適用基板 | Si・SiC・GaN・LiTaO₃ 等 |
| 腔體 | 多工腔體（高溫強酸）・乾燥腔體 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
支援化合物晶圓
支援高溫強酸的腔體
終點感測器（選配）
多樣的清洗工具
主要用途
- 化合物元件的清洗・蝕刻
- 金屬蝕刻
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣迪恩士半導體科技（SCREEN SPE Taiwan）（新竹）：1990 年成立的台灣子公司
- 服務據點（林口・台中・台南）：就近支援北部、中部與南部科學園區的晶圓廠