SCREEN 的單片式清洗設備。以4層×6塔最多搭載 24 個腔體，以高生產力進行藥液處理的濕式蝕刻・清洗。
目錄5 項
- 產品概要
- 主要規格
- 主要特點
- 製造商與在台據點
- 資料來源
產品概要
SU-3300 是 SCREEN Semiconductor Solutions 的單片式清洗設備。以4層×6塔結構可搭載業界最大級的 24 個腔體，實現高生產力。也支援以腔體為單位的維修（單腔體維修）。
以最新的乾燥技術高精度且迅速地控制晶圓上的氣液界面，使腔體內的溫度・濕度隨時保持最適狀態。藉此大幅抑制因微縮而變得脆弱的高深寬比圖形倒塌。
採用將 SU-3200 所搭載的超潔淨化技術 APAC 進一步進化的 APAC2，以高精度控制腔體內氣流的 ASC（Advanced Stream Control）改善處理環境，也減少腔體間差異。後繼機型 SU-3400 在相同的 24 腔體下將占地面積減少 30%。
主要規格
| 方式 | 單片式（藥液處理） |
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| 腔體配置 | 最多 24 腔體（4層×6塔） |
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| 主要技術 | 抑制圖形倒塌的乾燥技術・APAC2（腔體內氣流控制） |
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| 主要用途 | 濕式蝕刻・清洗（高深寬比圖形） |
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規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
以 APAC2（ASC 氣流控制）實現腔體內超潔淨化 製造商與在台據點
在台據點
- 台灣迪恩士半導體科技（SCREEN SPE Taiwan）（新竹）：1990 年成立的台灣子公司
- 服務據點（林口・台中・台南）：就近支援北部、中部與南部科學園區的晶圓廠