SU-3200 是 SCREEN Semiconductor Solutions 的單晶圓清洗設備。以 3 層堆疊×4 塔結構搭載 12 個腔體，並進一步加快舊設備的傳送系統，實現每小時最多 800 片的產能。單位面積的生產力也大幅提升。
將腔體與流體單元做成一體結構，流體單元採用托盤結構，方便規格變更與保養。藥液供應系統配置在設備背面，縮短從供應源到晶圓的距離，提高處理控制性。可從 DDI（Dynamic Direct Injection）與櫃式 2 種中選擇。
搭載面向次世代製程的 APAC 超潔淨技術。將腔體容積縮小到以往的約 3 分之 1 以提高氣氛置換，並以均勻化 FFU 下吹氣流的 ABG、防止乾燥後水痕的 APN、抑制液體飛濺的 ASP 等獨家技術，打造潔淨的處理環境。