SU-3200（枚葉式洗浄装置）

SCREEN の枚葉式洗浄装置。3段×4タワーで 12 チャンバーを搭載し、最大毎時 800 枚を処理する。

SU-3200とは

SU-3200 は、SCREEN セミコンダクターソリューションズの枚葉式洗浄装置です。3段積み×4タワー構造で 12 チャンバーを搭載し、従来装置の搬送システムをさらに高速化して最大毎時 800 枚のスループットを実現しました。単位面積あたりの生産性も大きく向上しています。

チャンバーと流体ユニットを一体構造にし、流体ユニットにはトレイ構造を採用して仕様変更とメンテナンスをしやすくしました。薬液供給システムは装置背面に配置し、供給源からウェーハまでの距離を短くして処理制御を高めています。DDI（Dynamic Direct Injection）とキャビネットタイプの2種類から選べます。

次世代プロセス向けの APAC スーパークリーンテクノロジーを搭載しています。チャンバー容積を従来の約3分の1にして雰囲気置換を高め、FFU のダウンフローを均一化する ABG、乾燥後のウォーターマークを防ぐ APN、液跳ねを抑える ASP などの独自技術でクリーンな処理環境をつくります。

主な特長

•12 チャンバー（3段×4タワー）、最大毎時 800 枚
•DDI／キャビネットの2種の薬液供給システム
•APAC スーパークリーンテクノロジー（ABG・APN・ASP）

主な仕様

方式	枚葉式
チャンバー構成	12 チャンバー（3段×4タワー）
スループット	最大 800 枚／時
主な技術	APAC スーパークリーン技術・DDI 薬液供給

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	SCREENホールディングスSU-3200（枚葉式洗浄装置）	東京エレクトロン（TEL）CELLESTA™-i（枚葉洗浄装置）
方式	枚葉式	枚葉式
チャンバー構成	12 チャンバー（3段×4タワー）	最大 20 チャンバー
主な技術	APAC スーパークリーン技術・DDI 薬液供給	薬液リサイクル・物理洗浄・ベベル洗浄・裏面洗浄ユニット