SU-3400 是 SCREEN 的單晶圓清洗設備，是 SCREEN 自 1983年起持續開發的 SU 系列最新機種，目標在於以最佳方式處理晶圓表面的氣液界面。
以 6 層 4 塔的構成最多搭載 24 個腔體，處理能力達每小時 1,200 片。與前一代機種 SU-3300 相比，占地面積縮小 30%。採用在晶圓面提高硫酸溫度的方式，可減少 SPM 藥液用量。
透過最佳化排氣與藥液使用，將環境負荷降低 20%，並獲認定為 SCREEN 的「超級環保產品」。也支援腔體內的高解析度影像監控、以物聯網進行的異常偵測，以及以腔體為單位的維護。