MA8 Gen5 是 SUSS MicroTec 的光罩對準曝光機。為 2020 年發表的單機式壓印微影系統，設想用於臉部辨識、指紋辨識、迎賓投影燈（light carpet）、AR 等用途。
針對標準至先進・高階製程改良壓印處理功能，並以進一步強化的 SUSS 調平系統，更精密地維持壓模與基板的平行度。可處理至 200mm 的晶圓，運用 SUSS 的 SMILE 壓印技術，對應 LED、MEMS／NEMS、微光學、AR、光感測器等多樣的壓印用途。
以易用的設計、低成本與小占地面積，可用於研發至中・大規模生產。也能處理接合對準與熔融接合製程，除了作為單機使用外，也可作為模組整合至全自動叢集式設備用於量產。