静電チャックの世界シェアと主要サプライヤー

要点

静電チャックは、新光電気工業・日本ガイシ・京セラ・TOTOなど日本のセラミックス・部品メーカーが大きな存在感を持つ部品で、装置メーカーの内製や再生品の市場も重なっています。高純度のセラミックスと電極・ヒーター・冷却の構造を一体で作り込む技術が求められます。公開されたシェアの数値は差が大きいため、主要な供給元を示しています。

※ 静電チャックは装置メーカーへの部品供給と、装置の保守・交換の市場が重なっており、公開されたシェアの数値は調査会社による差が大きいため、ここでは主要な供給元の顔ぶれを示しています。上記のほか、住友大阪セメントや韓国のメーカーなども供給しています。

静電チャックは、セラミックスの中に電極を埋め込み、電圧をかけて静電気の力でウェハを吸着する部品です。プラズマや腐食性のガスに長期間耐え、ウェハ全面の温度を均一に保つ必要があるため、高純度のセラミックスの焼成と、電極・ヒーター・冷却の構造を一体で作り込む技術が求められます。日本のセラミックスメーカーが長年の材料技術を生かして大きな存在感を持っています。

静電チャックには、セラミックスの絶縁性が高く電荷が動かないクーロン型と、わずかに電気を通すセラミックスで強い吸着力を得るジョンセン・ラーベック型があります。エッチング装置ではアルミナ系、高温のCVD装置では窒化アルミニウム系が多く使われ、ウェハを載せる台であるペデスタルやヒーターと一体になった製品も多くあります。