ドイツの半導体企業一覧
露光装置の光学系を担うカール・ツァイスSMT、化合物半導体向けMOCVDのAIXTRON、真空ポンプのPfeiffer Vacuumやライボルトなど、装置の中核部品と特殊装置に強い国です。デバイスではパワー半導体のInfineon、材料ではMerck KGaAとウェーハのSiltronicを収録しています。
収録 17社・製造装置 12・材料 2・ファウンドリ 1・IDM(デバイス) 1・その他 1
ドイツの製造装置企業12社
MOCVD・CVD装置の世界的リーダー。GaN LED・SiCエピタキシー・III-V族化合物半導体デバイスの量産に不可欠なエピタキシャル成長装置を提供する。
熱処理・拡散炉・酸化炉の専業装置メーカー。半導体前工程のドーパント活性化・ゲート酸化・アニール工程に対応し、太陽電池製造装置でも高い実績を持つ。
1984年創業のドイツのマスクレス露光装置メーカー。マスクレスアライナー、レーザー描画装置、マスクレスステッパー、フォトマスク描画装置、熱走査プローブ方式のナノリソグラフィ装置を提供する。
ラッピング・両面研磨(DSP)装置の老舗メーカー。半導体ウェハのほか、光学部品・機械部品まで幅広い精密平面加工装置を供給する。
半導体製造装置向け真空ポンプ・計測機器の世界的リーダー。ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ・ドライポンプなど幅広い製品ラインでALD・CVD・PVD・エッチング装置の真空環境を支える。
結晶成長装置と超音波検査装置のドイツ系メーカー。シリコンのCZ引き上げ炉、SiC・AlNのPVT(昇華)成長炉、真空炉、超音波非破壊検査装置を手掛ける。
電子ビーム(EB)マスク描画装置のドイツ発専業メーカー。フォトマスク製造向けの高精度EB描画装置を、研究開発から量産用途まで供給する。
ASMLの露光装置向け投影光学系・照明光学系を独占供給するドイツの精密光学メーカー。EUV反射光学系の超高精度研磨・多層膜コーティング技術で最先端リソグラフィを支える。
ASMLのEUV光学系を独占供給するドイツの精密光学メーカー。EUVリソグラフィ用投影レンズ・照明光学系・ウェーハ検査用電子顕微鏡(ORION)も展開。
科学計測機器・半導体計測装置の世界的メーカー。AFM(原子間力顕微鏡)・X線計測・電子顕微鏡を半導体製造の計測・品質管理に提供。
光学顕微鏡・共焦点顕微鏡のグローバル大手メーカー。半導体ウェハ検査・パッケージ断面観察向けの高精度光学顕微鏡システムを供給する。
170年以上の歴史を持つ真空技術メーカー。ドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、真空計、リークディテクタまで真空系を一通り揃える。Atlas Copcoグループ。
ドイツの材料企業2社
ドイツの特殊化学・製薬大手Merck KGaAの半導体材料部門。ALD前駆体・高誘電材料・フォトマスクブランクス・液晶など先端材料を供給。
シリコンウェハの世界3位メーカー(Wacker Chemie傘下)。300mm・200mm・150mmウェハを日独シンガポールの製造拠点で生産。先端ロジック・メモリ向けの鏡面研磨ウェハ・エピタキシャルウェハで信越化学・SUMCOと市場を三分。
ドイツのファウンドリ企業1社
アナログ・混合信号・パワー・MEMS・SiCに特化した専業ファウンドリ。汎用デジタルロジックは手がけず、130nm〜1μmの成熟ノードでアナログ集積・RF・センサー・パワーデバイスの量産に特化。自動車・医療・産業グレードに強み。
ドイツのIDM(デバイス)企業1社
欧州最大の半導体メーカー。パワー半導体(IGBT・SiC MOSFET)・マイコン・セキュリティICで世界トップクラス。車載・産業・IoT向けに強み。
ドイツのその他の企業1社
ドイツを拠点とする半導体製造装置メーカー。ウェーハレベルパッケージングおよび先端リソグラフィ技術のスペシャリスト。
他の国の半導体企業
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