FPA-5550iX

0.5µm の高解像力と 50 × 50mm の広画角を両立した前工程向けの i 線ステッパー。

FPA-5550iXとは

FPA-5550iX は、キヤノンの前工程向けの広画角・高解像力の i 線ステッパーです。従来機種 FPA-5510iX の投影レンズを受け継いで 0.5µm の高解像力を実現し、50 × 50mm の広画角で露光できます。

フルサイズの CMOS センサーや次世代 XR 用ディスプレイで求められる広い画角を、一括で高精細に露光できます。投影レンズを高品質で安定して供給できる製造方法に刷新しました。

アライメントスコープに、直射光を測る明視野検出に加えて、散乱光や回折光を測る暗視野検出を新しく加え、低コントラストのマークも測れます。オプションでシリコンを透過する赤外波長を選べ、裏面照射型センサーの製造に必要な裏面のアライメントにも対応します。ソリューションプラットフォーム Lithography Plus と連携して高い稼働率も実現します。

主な特長

•0.5µm の高解像力
•50 × 50mm の広画角
•明視野・暗視野アライメント
•Lithography Plus と連携

主な仕様

解像力	0.5 µm
画面サイズ	50 × 50 mm
アライメント	明視野・暗視野検出・赤外による裏面アライメント（オプション）

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ニコン（Nikon）NSR-SF155	ニコン（Nikon）NSR-2205iL1	キヤノン（Canon）FPA-5550iZ2	キヤノン（Canon）FPA-5550iX	キヤノン（Canon）FPA-3030i6	キヤノン（Canon）FPA-3030i5a	キヤノン（Canon）FPA-3030iWa	ASMLTWINSCAN XT:400M	ASMLTWINSCAN XT:260	Onto InnovationJetStep® X500	Onto InnovationJetStep® S3500
解像度	280 nm 以下	350nm 以下（オプション適用時）	350 nm 以下	—	—	—	—	オプションで 220nm	—	—	L/S 2/2µm（オプションで 1/1µm）
光源	i 線（365 nm）	—	i 線（365 nm）	—	—	—	—	i 線（水銀ランプ）	i 線（水銀ランプ）	—	—
解像力	—	—	—	0.5 µm	0.35µm 以下	—	0.8µm 以下	—	—	—	—
開口数（NA）	0.62	—	0.57 ～ 0.45（自動可変）	—	—	—	—	—	—	—	—
スループット	200 枚／時以上	—	—	—	—	—	—	—	毎時 270 枚（340 mJ/cm²）	—	—
重ね合わせ精度	25 nm 以下	—	SMO 18 nm 以下・MMO 25 nm 以下（オプション）	—	—	—	—	—	—	—	—
関連機種	NSR-2205iL1（解像度 350 nm 以下）	—	FPA-5550iZ（前機種、スループット約 20% 向上）	—	—	—	—	—	—	—	—
ウエハーサイズ	—	—	—	—	—	50〜200 mm	50〜200 mm	—	—	—	—

1機種だけが掲載している項目（18件）

光源・NA	—	i 線（365nm）・0.45	—	—	—	—	—	—	—	—	—
縮小倍率・露光範囲	—	1:5・22 × 22mm	—	—	—	—	—	—	—	—	—
ウェハサイズ	—	2〜8 インチ（オプション）	—	—	—	—	—	—	—	—	—
対応ウェハ径	—	—	200／300 mm（選択）	—	—	—	—	—	—	—	—
画面サイズ	—	—	—	50 × 50 mm	—	—	—	—	—	—	—
アライメント	—	—	—	明視野・暗視野検出・赤外による裏面アライメント（オプション）	—	—	—	—	—	—	—
NA	—	—	—	—	0.30〜0.63（選択可能）	—	—	—	—	—	—
処理枚数	—	—	—	—	毎時 130 枚（8 インチ）	—	—	—	—	—	—
生産性	—	—	—	—	—	従来機比約 17% 向上（8 インチ）	—	—	—	—	—
消費電力	—	—	—	—	—	従来機比約 20% 削減	—	—	—	—	—
NA・画面サイズ	—	—	—	—	—	—	0.24〜0.16（自動可変）・52 × 52mm	—	—	—	—
重ね合わせ	—	—	—	—	—	—	—	ウェーハ全面で 20nm 以下	—	—	—
投影光学系	—	—	—	—	—	—	—	—	可変 NA 0.25〜0.35・2 倍縮小	—	—
対象基板	—	—	—	—	—	—	—	—	—	CCL・FR4・複合材・ガラスなどのパネル	—
特徴	—	—	—	—	—	—	—	—	—	業界最大の露光フィールド・大きな焦点深度・XY 独立の倍率補正	—
主要用途	—	—	—	—	—	—	—	—	—	AICS・チップレットの大型パッケージ	—
対応基板	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	最大 650 × 650 mm
露光フィールド	—	—	—	—	—	—	—	—	—	—	59.4 × 59.4 mm