FPA-3030EX6

IoT 関連デバイス向けのキヤノンの KrF ステッパー。100〜200mm の多様な基板を扱え、i 線ステッパー FPA-3030i5+ と共通のウェーハ搬送系を持つ。

FPA-3030EX6とは

FPA-3030EX6 は、キヤノンの IoT 関連デバイス向け KrF ステッパーです。焼付け波長は KrF の 248nm、縮小比は 1:5、レチクルは 6 インチです。解像力は 150nm 以下で、同クラスの KrF エキシマレーザーステッパーとして最高水準の性能としています。

NA は 0.65〜0.50 の自動可変、画面サイズは 22×22mm、重ね合わせ精度は 25nm 以下、生産性は毎時 121 枚以上です。ウェーハサイズは 100／125／150／200mm から選べます。

従来機 FPA-3000EX6 の性能を踏襲しつつ、実績のある i 線ステッパー FPA-3030i5+ と共通のウェーハ搬送システムを搭載し、さまざまな材質・径・厚さの基板を搬送できます。小口径ラインで多品種を扱う IoT デバイスの製造に向いた装置です。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ASMLTWINSCAN NXT:2100i	ニコン（Nikon）NSR-S635E	キヤノン（Canon）FPA-3030EX6
光源	ArF 液浸（193 nm）	ArF 液浸（193 nm）	KrF（248 nm）
重ね合わせ精度	単体機 0.9 nm・機間 1.3 nm（前機種比 10%／13% 改善）	MMO 2.1 nm 以下	25 nm 以下
対応ウェハ径	300 mm	—	100／125／150／200 mm（選択）
開口数（NA）	—	1.35	0.65 ～ 0.50（自動可変）
解像度	—	38 nm 以下	150 nm 以下
スループット	—	275 枚／時以上（96 ショット）	121 枚／時以上

1機種だけが掲載している項目（3件）

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。